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| 真空鍍膜機(jī)維護(hù)知識(shí) |
| 發(fā)布時(shí)間：2014-12-19 瀏覽：5408 次 |
第一章 電子槍 1電子槍槍頭罩 電子槍頭罩 須每日清潔一次清潔的目的是清除膜料的殘留物及其他異物資進(jìn)入槍頭內(nèi)部而容易導(dǎo)致產(chǎn)生電壓上升,掃描偏移和加快電阻絲的氧化反應(yīng)以及蒸發(fā)膜料時(shí)產(chǎn)生氣體而產(chǎn)生靜電現(xiàn)象。 11清潔方法 1分解槍頭罩后進(jìn)行噴沙方式清潔 2噴沙必須只操作槍頭罩的外部 3槍頭罩的內(nèi)里面絕對(duì)不可以噴沙 如果對(duì)內(nèi)部經(jīng)常性噴沙處理會(huì)導(dǎo)致固定螺絲的磨損使得組裝時(shí)不再扣緊，如長(zhǎng)時(shí)間噴沙處理嚴(yán)重影響或損壞螺紋結(jié)構(gòu)導(dǎo)致組裝后出現(xiàn)槍頭的中心與電阻絲的中心部位不吻合。 此因素會(huì)導(dǎo)致以下問題 ①電子束掃描偏移或變化 ?、陔娮邮W動(dòng)現(xiàn)象 ?、坼兡l件變化 ④電子器件的故障等。 12 槍頭分解事項(xiàng) 內(nèi)容電子槍頭在更換電阻絲時(shí)進(jìn)行清潔。 1電阻絲更換周期如下 例A品電阻絲更換使用時(shí)Zro2蒸發(fā)時(shí)所顯示的電流值為 240A左右 IC/5 中 Zro2的速率設(shè)定為6.5 Rate時(shí)電阻絲使用較長(zhǎng) Zro2的電流值會(huì)上 升到 270~280左右。 電阻絲上有異物資或電阻絲已發(fā)生氧化都會(huì)產(chǎn)生電流上升現(xiàn)象這時(shí)可對(duì)電阻絲氧化反應(yīng)現(xiàn)狀進(jìn)行直觀確認(rèn)。 2槍頭清潔方式 ?、?/p> 對(duì)槍頭建議不采用噴沙方式進(jìn)行清潔。 如確切需要采用噴沙方式清潔可在不分解槍頭的狀態(tài)下進(jìn)行，之后將槍頭分解對(duì)表面的殘留物資進(jìn)行清潔后組裝即可。 ?、?/p> 進(jìn)行噴沙清潔時(shí)盡可能對(duì)槍頭固定部分和螺紋部分避免噴沙對(duì)固定部分用細(xì)砂紙輕微擦拭。 固定電阻絲部分如果噴沙會(huì)有損傷導(dǎo)致緊固電阻絲時(shí)不緊密和偏形等結(jié)果以上因素會(huì)導(dǎo)致以下問題 (.)光斑形狀不規(guī)則 (.)光斑定位偏移 (.)會(huì)成為數(shù)據(jù)條件變化的因素。 13 電子槍掃描架 1電子槍角鐵在清潔中必須慎重管理。 電子槍角鐵合金材料物性雖然是強(qiáng)性但通過延續(xù)使用過程中因電子槍的高熱而會(huì)轉(zhuǎn)變?yōu)檐浶元元缬鲚^強(qiáng)沖擊會(huì)導(dǎo)致變形特別注意在噴沙過程中不可仍拋物現(xiàn)象清潔過程中一定要注意。 2如果上述因素而導(dǎo)致角鐵變形 延續(xù)產(chǎn)生以下問題光斑不穩(wěn)/光斑大小調(diào)整異常/ 掃描等不穩(wěn)定狀態(tài)。 3有時(shí)電子槍的角鐵與基臺(tái)之間沒有固定部分前提下組裝 再加上操作者不注意將導(dǎo)致每次的光斑位置不同延伸可導(dǎo)致光斑不移動(dòng)狀態(tài)。 角鐵上部的組裝要比下部更重要 14 電子槍部件 組成部件 1 坩堝盤 2電子槍 角鐵 3掃描線圈接點(diǎn) 4磁力 線圈 5) 冷卻水入口 6坩堝盤旋轉(zhuǎn)軸 7高壓端子 8坩堝盤旋轉(zhuǎn)感應(yīng)器 9旋轉(zhuǎn)電機(jī) 10掃描線圈 第2章 離子源 21 離子源 目前我們使用兩種模式的離子源。 1 霍爾源模式 一般在樹脂光學(xué)領(lǐng)域使用霍爾源的比率較多霍爾源的輸射角度寬設(shè)定均勻性的操作上表現(xiàn)非常優(yōu)越但電源電流上升限制在220V所以針對(duì)金屬材質(zhì)等產(chǎn)品的使用時(shí)比較弱而無明顯效果。 2 考夫曼模式簡(jiǎn)單說明可以理解霍爾離子源主要為輻射角度寬電源壓低相對(duì)比考夫曼模式輻射角度小電源壓高調(diào)整作業(yè)條件時(shí)比起霍爾源難度較高但電流電源可上升到800V,對(duì)金屬材質(zhì)的產(chǎn)品等使用適當(dāng)。 3 各部件 ?、匐娫淳€固定點(diǎn) ?、陔娮杞z固定點(diǎn) ?、蹥怏w分配器 . ④冷卻水盤 ⑤磁控立柱 ?、蘩鋮s水盤固定柱 22 氣體分配器 離子源氣體分配器 1方法約使用 15日左右后更換刻蝕輔助功能同時(shí)使用時(shí) 2清潔周期清潔周期為 12小時(shí)一次 3問題如果氣體分配器不潔凈會(huì)影響 離子反應(yīng)導(dǎo)致影響產(chǎn)品表面膜層的牢固度。 離子反應(yīng)不到位電弧加深可對(duì)產(chǎn)品造成很嚴(yán)重的影響?yīng)?如產(chǎn)生較多異物質(zhì)中合電流值會(huì)上升 中合電流值顯示上升說明氣體分配器的狀態(tài)不好 中合電流值應(yīng)保持在 1以下最好。 4離子源燈絲 基本上電阻絲正常使用 2~3天更換電阻絲時(shí)應(yīng)如下參考值 陽(yáng)極電源-80陰極電流-29.5, 放射電流-4.8, 陽(yáng)極電流-4.8 中合電流 00.0 根據(jù)電阻絲的種類區(qū)別多少會(huì)有差距 ★陰極電流值約 (21)~(20)狀態(tài)時(shí)需要更換電阻絲。 5氣體分配器 ?、?氣體分配器的使用壽命月 50小時(shí) ?、谝匝坨R鍍膜為準(zhǔn)可使用 16日~17日后給于更換 ?、郦?dú)鍤?2分30秒氧氣 1分10秒清掃后預(yù)熱時(shí)間等等。 ?、?離子源清掃每日進(jìn)行一次。 第 3章 泵 31 增壓泵 1方法確認(rèn) oil量。 2周期每周一次 3效果如發(fā)現(xiàn)泵油急劇減少現(xiàn)象出現(xiàn)將說明問題存在需要檢驗(yàn)通過視窗發(fā)現(xiàn)泵油里積水或有明顯氣泡需將油全部更換。停止運(yùn)轉(zhuǎn)并對(duì)電路等進(jìn)行檢修或從新安裝操作時(shí)必須對(duì)泵的旋轉(zhuǎn)方向進(jìn)行確認(rèn)無誤后方可啟動(dòng)運(yùn)轉(zhuǎn)請(qǐng)參考旋轉(zhuǎn)標(biāo)示。 32 機(jī)械泵 1方法確認(rèn)油量 2周期每天一次 3效果 必須保障油量滿足在上下基準(zhǔn)顯示值范圍內(nèi) 每3個(gè)月將油全部排除并作過 濾處理之后回填將不足油量補(bǔ)充油量補(bǔ) 充到油標(biāo)視窗的 2/3 的高度 使用 6個(gè)月后最好將 油全部更換油過濾器--- 如有 微小的移動(dòng)空隙 就應(yīng)給于清潔 或更換。 33 擴(kuò)散泵 擴(kuò)散泵各部件 1F/V汽缸結(jié)合部 2 M/V結(jié)合部位 3 擴(kuò)散泵油注入口 4 擴(kuò)散泵油排出口 5 擴(kuò)散泵加熱器安裝位置 D/P 泵 擴(kuò)散泵管理方法 1對(duì)擴(kuò)散泵每年進(jìn)行一次全面檢查( 通過定期維護(hù)管理延長(zhǎng)和維持設(shè)備性 能) 2擴(kuò)散泵規(guī)格為 22英寸時(shí)兩組擴(kuò)散泵各注入擴(kuò)散泵油 4.5升 3擴(kuò)散泵規(guī)格為 24英寸時(shí)兩組擴(kuò)散泵各注入擴(kuò)散泵油 5.5升 4鍍膜參數(shù)變化及沉積異常/真空異常等可以現(xiàn)象時(shí)需要將確認(rèn)擴(kuò)散泵油量 ※為了確認(rèn)擴(kuò)散泵首先將設(shè)備關(guān)閉再等到擴(kuò)散泵完全冷卻以后方可允許氣體 注入 如果在正常操作狀態(tài)下擴(kuò)散泵中有空氣進(jìn)入將導(dǎo)致擴(kuò)散泵油與空氣結(jié)合發(fā)生爆炸所以特別實(shí)施注意 擴(kuò)散泵問題確認(rèn) 1確認(rèn)油量是否保持定量 . 如果發(fā)現(xiàn)油量不足必須補(bǔ)充到規(guī)定油量。 2確認(rèn)擴(kuò)散泵油的顏色是否透明 .如發(fā)現(xiàn)油的顏色變?yōu)樯钌ず讵オ?yīng)給于更換。 3確認(rèn)擴(kuò)散泵油里是否摻雜異物質(zhì) .如發(fā)現(xiàn)異物質(zhì)沒有發(fā)現(xiàn)顏色變化時(shí)僅將異物質(zhì)給于過濾后再使用即可。 ( 如以上問題狀況需要制定時(shí)間表來周期性操作設(shè)備檢查維護(hù)) 第 4章 冰水機(jī)冷卻機(jī) 1方法每天一次確認(rèn)水箱水位 2周期每個(gè)月更換一次水 3效果首先將水箱內(nèi)的水排出更換水進(jìn)行循環(huán)后再次給于更換。 如水質(zhì)因素導(dǎo)致水管生銹堵塞影響水的循環(huán)和壓力會(huì)導(dǎo)致擴(kuò)散泵溫度上升甚至?xí)蟹涤偷默F(xiàn)象 再者如影響到電子槍掃描線圈導(dǎo)致光斑不穩(wěn)定而變化或不移動(dòng)加上低壓保護(hù)裝置而需要隨時(shí)確認(rèn)冷卻水循環(huán)壓力在 3K~3.5K為最佳狀態(tài)低于2K 會(huì)導(dǎo)致問題發(fā)生。 第 5章 鍍膜機(jī)氣壓調(diào)節(jié)裝置 此裝置的壓力顯示低時(shí)M/V的蓋子及各氣閥的設(shè)定壓力值不足而導(dǎo)致返油現(xiàn)象發(fā)生。 ※ 目前設(shè)備的壓力值應(yīng)保持在 5.5kg。 第6章 真空室 內(nèi)部組成說明 1高真空探頭 2低真空探頭 3電子槍 4離子源 5真空室冷凍機(jī)管路 6加熱燈管 頂部組成說明 1M/V閥氣缸 2R/V閥汽缸 3L/V閥氣缸 4L/V閥消音器 第 7章 真空確認(rèn)方法 相關(guān)真空的問題發(fā)生時(shí)主要的確認(rèn)方法過程是通過真空計(jì)顯示畫面的數(shù)值 確認(rèn)和診斷方法 1.如操作時(shí)間比往常出現(xiàn)延長(zhǎng)狀態(tài)時(shí)主要確認(rèn)真空方向 2.將作業(yè)時(shí)間與正常狀態(tài)時(shí)間作比較 3.確認(rèn)真空計(jì)顯示的數(shù)值是否有反彈現(xiàn)象 4.確認(rèn)各氣缸動(dòng)作時(shí)的真空狀態(tài)是否有泄漏現(xiàn)象 5.確認(rèn)真空計(jì)顯示真空度是否按照一定規(guī)律順序變動(dòng)還是上下有偏差的狀態(tài) 變動(dòng) 對(duì)可疑的部位進(jìn)行丙酮噴灑并及時(shí)確認(rèn)真空計(jì)顯示上的變化來確認(rèn)是否有真空泄漏現(xiàn)象 6.M/V主閥氣缸作為多發(fā)生問題部位主閥軸的密封圈與主軸之間的摩擦而導(dǎo)致磨損現(xiàn)象是漏真空的主要原因 7.與真空相關(guān)聯(lián)的部位結(jié)構(gòu)都有密封圈所以在處理問題時(shí)更換密封圈時(shí)直接解 決方式 8.與上述第4項(xiàng)內(nèi)容電子槍與離子源的密封圈也可能作為問題因素導(dǎo)致泄露或冷卻水微漏現(xiàn)象 9.電子槍旋轉(zhuǎn)裝置的齒輪軸會(huì)有泄漏現(xiàn)象有可能發(fā)生主要因素是軸承和軸封的老化所致更換即可 10.相對(duì)平常作業(yè)時(shí)間延長(zhǎng)2~3分鐘左右可以看作為操作管理的不足而產(chǎn)生的 結(jié)果 例如) -- 將真空室門開啟的時(shí)間過長(zhǎng) -- 設(shè)備內(nèi)部的濕氣導(dǎo)致的現(xiàn)象 -- 加熱燈管的污染嚴(yán)重時(shí) -- 設(shè)備內(nèi)部的污染嚴(yán)重時(shí)
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