按照低溫介質(zhì)一般可以分為以下幾種
流程低溫泵
泵中低溫板冷卻管和制冷膨脹機相聯(lián)接,低溫介質(zhì)(氣氦)通過外管路供給低溫泵,吸收低溫板熱量后再回到制冷壓縮機,形成封閉循環(huán),這種低溫泵的體積龐大、管路復(fù)雜、管路冷損較大。
優(yōu)點是制冷功率大,最適宜抽除大氣量或大型真空室,廣泛用于空間環(huán)模設(shè)備、受控?zé)岷朔磻?yīng)裝置、火箭發(fā)動機高空點火試驗以及低壓空氣動力學(xué)試驗等。
貯槽式低溫泵
低溫介質(zhì)(液氦)直接注入泵內(nèi)貯槽,使氣體冷凝達到抽氣目的。其優(yōu)點是泵的體積小、無振動、無噪聲、操作簡便,適用于大專院校及科研單位和高能加速器等大型真空工程。
缺點是運轉(zhuǎn)費用高,每次加注低溫介質(zhì)的使用時間短,需長期連續(xù)運轉(zhuǎn)的真空系統(tǒng)要定期補充工作介質(zhì),并且受到低溫介質(zhì)供應(yīng)條件的限制。
小型制冷機低溫泵
閉循環(huán)小型制冷機低溫泵是由低溫泵體、抽氣低溫板、輻射屏蔽板、制冷機和壓縮機等部分組成。
和流程低溫泵的最大區(qū)別是制冷機一、二級冷頭直接和輻射屏、冷板相連,在制冷機與壓縮機連接管路中流動的是常溫、高(或低)壓氣體介質(zhì),不存在低溫介質(zhì)的輸送問題,兼有流程低溫泵和貯槽式低溫泵的優(yōu)點,是目前比較理想的清潔超高真空泵。
廣泛用于薄膜制備、微電子學(xué)技術(shù)、高能物理、小型環(huán)模設(shè)備以及其它各工業(yè)領(lǐng)域。
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