最初的真空計(jì)是由托里拆利制作的一端封閉充滿水銀的細(xì)長(zhǎng)玻璃管發(fā)明的。根據(jù)測(cè)量的真空度范圍和使用環(huán)境,現(xiàn)在最常使用的真空計(jì)有電容式隔膜真空計(jì)、熱電偶真空計(jì)、熱陰極電離真空計(jì)和冷陰極電離真空計(jì)。
這幾種真空計(jì)利用了不同的物理現(xiàn)象,其中電容式隔膜真空計(jì)利用的是力,熱電偶真空計(jì)利用的是熱傳導(dǎo),電離真空計(jì)利用的是真空放電。
選用真空計(jì)時(shí)應(yīng)該注意以下事項(xiàng):
一:在設(shè)備要求的壓強(qiáng)范圍內(nèi),真空計(jì)是否有足夠的測(cè)量精度;
二:被測(cè)氣體是否會(huì)對(duì)真空計(jì)造成損傷;
三:真空計(jì)是否會(huì)對(duì)被測(cè)真空環(huán)境造成影響;
四:真空計(jì)所測(cè)壓強(qiáng)是全壓還是分壓,是否已校準(zhǔn),是否與氣體種類有關(guān);
五:真空計(jì)能否實(shí)現(xiàn)連續(xù)測(cè)量,數(shù)值指示及反應(yīng)時(shí)間如何;
六:真空計(jì)的穩(wěn)定性、可靠性、壽命。
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