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真空鍍膜設(shè)備的真空系統(tǒng)構(gòu)成 |
發(fā)布時間:2014-09-27 瀏覽:4205 次 |
真空鍍膜設(shè)備的真空系統(tǒng)構(gòu)成: 目前在各種真空鍍膜設(shè)備上所配用的真空系統(tǒng)不但結(jié)構(gòu)各不相同,而且系統(tǒng)的抽氣特性也隨其工作對象的不同而有很大的差別,歸納起來主要有如下幾種系統(tǒng):通用真空系統(tǒng)、超高真空系統(tǒng)、制冷機(jī)低溫泵系統(tǒng)。 一:通用真空系統(tǒng) 系統(tǒng)的主泵是油擴(kuò)散泵,泵上方設(shè)有水冷擋板(阱),主泵的前級泵為機(jī)械泵。這種系統(tǒng)的工作壓強(qiáng)在10-2~10-4Pa的范圍內(nèi)。 二:超高真空系統(tǒng) 在上述真空系統(tǒng)中加裝液氮冷阱或鈦泵,就可以使鍍膜室真空度提高到10-6Pa以上,從而得到超高真空系統(tǒng)。由于該系統(tǒng)仍采用油擴(kuò)散泵,所以還是有油的系統(tǒng)。 鍍膜機(jī)采用分子泵系統(tǒng)可以獲得十分清潔的真空,有利于膜質(zhì)量的提高。分子泵抽速很大,可以縮短工藝周期。 三:制冷機(jī)低溫泵系統(tǒng) 使用低溫泵抽氣系統(tǒng)的真空鍍膜設(shè)備具有一系列優(yōu)點(diǎn):無選擇性氣體、無碳?xì)浠衔镂廴?、具有較大的抽氣速率、可以獲得較低的極限壓力、操作簡單、蓬盤維護(hù)方便。 推薦閱讀 |