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| 擴散泵對各種氣體抽速的影響？ |
| 發(fā)布時間：2014-09-25 瀏覽：5897 次 |
同一臺擴散泵，對不同種類的被抽氣體，抽氣速率是不同的。從圖1中的相對抽速曲線可以看出，對氦的抽速可平行延伸到很高的真空度，對氫的抽速很大，這說明擴散泵對較輕的氣體抽速較大，而對油的裂解物抽速卻較小。 因此要設法減小油的裂解物產(chǎn)生。 擴散泵的最大出口壓力 泵的最大出口壓力主要是由最后一級噴嘴結構、尺寸，蒸氣流特性決定的;為提高最大出口壓力，必須提高蒸氣射流的密度和流量，即提高加熱功率。但提高加熱功率又會影響抽速和極限壓力。 因此，對每種擴散泵都應經(jīng)過調試之后，給出最佳加熱功率。 只要泵的出口壓力不高于其最大出口壓力泵就能正常工作。 擴散泵油的返流 油擴散泵工作時，不管使用什么樣訥泵油，總有部分油蒸氣返流人高真空端。 這不但影響泵的極限壓力，還會對被抽容器造成污染。采用返油率評價泵的返流特性。 返油率是指在泵人口處，單位時間，單位面積上返回泵油的質量。 不同泵油返油率不同，同一種泵油，油溫增高時返油率加大。泵的第一級噴嘴結構、尺寸、形狀對返油率也有影響。 擴散泵返流油蒸氣的來源如圖2所示，主要有以下幾個方面： a.凝結于頂噴嘴表面上的油膜的再蒸發(fā); b.泵壁上凝結油膜的再蒸發(fā)和爬移;c.噴嘴噴出的高速蒸氣射流碰到泵壁后的散射; d.油蒸氣由噴嘴噴出后，由于油蒸氣分子的熱運動、碰撞、反彈，包括泵油爆沸產(chǎn)生的飛濺和壓力起伏引起的油分子直接向高真空側返流。 在頂噴嘴上加一個優(yōu)選形狀的擋油帽，可使返油率大大降低。這種擋油帽的擋油效果較好且對泵抽速沒有太大的影響，所以在現(xiàn)代擴散泵的設計中經(jīng)常采用這種結構。 在頂噴嘴上方，緊貼泵壁加一擋油環(huán)，經(jīng)實驗得知，返油率最多可減少20%。 在對降低泵的返油率有更高要求時，可以在抽氣系統(tǒng)上采用各種結構的冷阱和障板。 也可以設計成如圖4的低返油率擴散泵。另外，調好泵的最佳加，熱功率值的方法亦可使返油率減小。 在泵加熱開始和終止時，返油率將出現(xiàn)峰值，可以用控制泵口處的閥門的方法來克服。 相關閱讀 |
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