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| 擴(kuò)散泵維修 |
擴(kuò)散泵的工作原理
擴(kuò)散泵是目前獲得高真空的最廣泛、最主要的工具之一。擴(kuò)散泵是一種次級(jí)泵，它需要機(jī)械泵作為前級(jí)泵。
高真空泵擴(kuò)散泵主要結(jié)構(gòu)有泵體、冷卻帽、噴嘴、蒸氣導(dǎo)流管、加熱器和冷卻器等。
擴(kuò)散泵中的油在真空中加熱到沸騰溫度（約為200度）產(chǎn)生大量的油蒸氣，油蒸氣經(jīng)導(dǎo)流管由各級(jí)噴嘴定向高速噴出。由于擴(kuò)散泵進(jìn)氣口附近被抽氣體的分壓強(qiáng)高于蒸氣流中該氣體的分壓強(qiáng)。這樣，被抽氣體分子沿著蒸氣方向高速運(yùn)動(dòng)，氣體分子碰到泵壁又反射回來，再受到蒸氣流碰撞而重新沿蒸氣流方向流向泵壁。經(jīng)過幾次碰撞后，氣體分子被壓縮到低真空端，再由下幾級(jí)噴嘴噴出的蒸氣進(jìn)氣多級(jí)壓縮，最后由前級(jí)泵抽走，而油蒸氣在冷卻的泵壁上被冷凝后又返回到下層重新被加熱，如此循環(huán)工作達(dá)到抽氣目的。
擴(kuò)散泵是真空鍍膜機(jī)的主要部件，為機(jī)器能運(yùn)作在最佳狀態(tài)，平時(shí)對(duì)擴(kuò)散泵的維護(hù)和保養(yǎng)非常重要。
1,擴(kuò)散泵工作過程中冷卻水必須保證暢通，停止加熱后必須保證泵工作液已完全冷卻后方可關(guān)閉冷卻水。
2,擴(kuò)散泵停止工作時(shí)，泵內(nèi)應(yīng)保持真空狀態(tài)，以免泵油劣化。
3,被抽氣體應(yīng)是干燥、無腐蝕、無灰塵的氣體。
4,擴(kuò)散泵如暫時(shí)不用，保管期間應(yīng)該保持真空狀態(tài)，以免泵油污染和各零件腐蝕并將冷卻水套入的剩水吹凈。保持場(chǎng)地的室溫應(yīng)在10-40攝氏度之間。
5,擴(kuò)散泵在長(zhǎng)期工作后性能會(huì)逐漸變壞，應(yīng)定期檢查。如：泵油是否減少或氧化，按相應(yīng)要求加油或更換處理；零件及泵腔先用航空汽油清洗，然后用丙酮進(jìn)行擦洗，并置于80-100攝氏度溫度下烘干或用電吹風(fēng)吹干。處理完后，按順序進(jìn)行裝配，保持泵芯與泵底垂直與泵腔同心，各級(jí)噴嘴間隙要按原要求調(diào)整好。
6,待水分揮發(fā)干以后裝好泵芯，加入新擴(kuò)散泵油，并裝回機(jī)體，接好水管，裝好電爐盤，便可以重新開機(jī)。
7,在重新開機(jī)前，要注意檢漏工作。方法是：?jiǎn)?dòng)維護(hù)泵，關(guān)好大門，數(shù)分鐘后，觀察真空度是否6*10的0帕，否則要進(jìn)行檢漏，檢查連接處是否漏裝密封膠圈，或者壓壞密封圈。排除漏氣隱患后方可加熱，否則擴(kuò)散泵油會(huì)燒壞，無法進(jìn)入工作狀態(tài)
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