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| 羅茨真空泵在特定行業(yè)中的應(yīng)用？ |
| 發(fā)布時間：2014-09-25 瀏覽：5236 次 |
羅茨泵在清潔或腐蝕性工藝中的應(yīng)用：在半導(dǎo)體、LCD、光伏太陽能電池以及某些工況條件非?？量痰幕ば袠I(yè)，大都是采用羅茨泵與干式真空泵所組成的真空機(jī)組，一方面可以減少干泵尺寸，提高真空機(jī)組在中真空范圍的抽速，另外真空系統(tǒng)的極限真空值亦可以提高一個數(shù)量級。 根據(jù)羅茨泵的抽氣機(jī)制，由于它既不需要潤滑亦不需要密封介質(zhì)，從原則上來說應(yīng)該是無油的。但是羅茨泵的轉(zhuǎn)子必須由軸承來支撐和精密的同步齒輪來傳動。 這些軸承和齒輪均需要有潤滑系統(tǒng)。另外當(dāng)真空系統(tǒng)抽除腐蝕性氣體或蒸汽時，潤滑油亦會受到侵蝕。 為了降低軸承密封系統(tǒng)兩端的壓差，通常是將油箱抽成真空。 當(dāng)油箱通過內(nèi)部通道與羅茨泵出口相連，即由前級泵對油箱進(jìn)行抽空，這時油箱內(nèi)的壓力略高于泵腔壓，力的平均值，這種連接方法是適合于羅茨泵長期工作在較低的工作壓力或極限壓力的條件下，以獲得無油清潔的真空。 但是軸封系統(tǒng)一旦失效，由于氣體的泄漏是從油箱到泵腔，所以油箱內(nèi)的油蒸汽會對真空系統(tǒng)造成一定污染。 但是工藝氣體不會通過軸封而進(jìn)入油箱，而造成對油的侵蝕。當(dāng)油箱通過內(nèi)部通道與羅茨泵入口相連，這時油箱內(nèi)的壓力低于泵腔壓力的平均值，這種連接方法是適合于羅茨泵工作在較高的工作壓力或壓力經(jīng)常變化的條件下，以獲得無油清潔的真空。 即使軸封系統(tǒng)一旦失效，由于氣體的泄漏是從泵腔到油箱，所以油箱內(nèi)的油蒸汽絕對不會返回到泵腔，但是工藝氣體則會通過軸封系統(tǒng)進(jìn)入油箱而造成對油的侵蝕。 2.德國Leybold公司的防止返油的措施 為了防止油箱內(nèi)的油蒸汽通過活塞環(huán)密封裝置而滲入到泵腔。油箱是由另外一臺輔助真空泵來進(jìn)行抽空，其油箱內(nèi)的壓力始終是低于羅茨泵泵腔內(nèi)的壓力，其少量的氣流是通過活塞環(huán)密封裝置從泵腔進(jìn)入到油箱，阻止了油箱內(nèi)的油蒸汽通過活塞環(huán)密封裝置返流到泵腔。 而油箱內(nèi)的氣體以及少量的油蒸汽在被輔助真空泵抽走以前都要經(jīng)過端蓋上的一個水冷的油分離器，油被冷凝后再返回到油箱，因而大大降低了油箱內(nèi)油的消耗。 但是這種裝置是避免齊了工藝氣體通過活塞環(huán)密封而進(jìn)入油箱，造成對油的污染。 為了徹底解決油箱內(nèi)的油蒸汽和泵腔之間的交叉污染問題，即既要防止油箱內(nèi)的油蒸汽通過軸封返流到泵腔而造成對系統(tǒng)的污染，又要阻止工藝氣體通過軸封而進(jìn)入油箱，造成對油的侵蝕。 美國Kinney的M/S系列羅茨泵則全部采用機(jī)械密封，即除了電機(jī)輸入端采用圖3左下端所示的機(jī)械密封外，其余4個機(jī)械密封都用來作為泵腔與油箱之間的密封。 為了降低機(jī)械密封兩端的壓差，油箱亦由前級泵抽成真空。 這種全部是機(jī)械密封的羅茨泵特別適合于工藝氣體腐蝕性很強(qiáng)的應(yīng)用場合，為了防腐蝕，這種羅茨泵的內(nèi)部凡是接觸工藝氣體的表面都要經(jīng)過涂層處理，一般是鍍Ni，厚度為0.015～0.02 mm，所有密封圈材料為Kalrez全氟橡膠。 |
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