真空鍍膜設(shè)備光學(xué)監(jiān)控是高精密鍍膜的的首選監(jiān)控方式之一,精確度的改進(jìn)源于對光學(xué)厚度的監(jiān)控,是采用間接測控。
特別適合于各種膜厚的鍍膜監(jiān)控包括非規(guī)整膜監(jiān)控。
最直接的控制方法是石英晶體微量平衡法,保持蒸發(fā)速率。
只要將儀器與系統(tǒng)控制軟件相連接,它就可以控制整個的鍍膜過程。但溫度較高時,它會變得對溫度非常敏感。
在長時間的加熱過程中,很難阻止傳感器跌入這個敏感區(qū)域,從而對膜層造成重大誤差。
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