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| 極高真空技術(shù)分析和運用 |
| 發(fā)布時間：2014-09-05 瀏覽：3881 次 |
真空浸泡后油峰有所增加的事實表明，從油蒸氣對容器所造成的污染來說，除泵正常運轉(zhuǎn)中的返流外，在系統(tǒng)沒有隔離閥的情況下，主要是系統(tǒng)在真空浸泡期間發(fā)生的。 因為這時泵已停止工作，失去了抽氣作用，而系統(tǒng)仍處于真空，原先吸附障板冷面上的大量返流物會因升溫而解吸，幾乎是毫無阻礙地返進容器重又吸附于器壁上。 這樣，在下一次運轉(zhuǎn)中，由于污染物的解吸很緩慢，使系統(tǒng)的清潔程度變壞，也大大延長了抽氣時間。 此外，真空靜置期間，泵液也可能通過蒸發(fā)、爬移等途徑對容器壁造成污染?？朔@一問題的方法除在系統(tǒng)中設(shè)置隔離閥外，簡便可行的方法是采用充氮保護。 通過實驗研究，得到如下幾點結(jié)論： ①由機械泵和擴散泵組成的抽氣系統(tǒng)中，若不采取阱、障板等降低泵液返流措施，擴散泵和機械泵工作液的返流是限制系統(tǒng)極限壓力的主要因素之一。 ?、诜锇簡螌尤俗中握习搴驮O(shè)計良好的液氮冷阱能有效地降低泵液返流，其捕獲效率分別大于0.9和0.99 ?、酆婵臼侨コ砻嫖廴竞徒档捅砻娣艢獾挠行Х椒?。 250℃，8h烘烤，結(jié)合障板和阱的效果，能獲得好于3.06×10-8Pa酌真空，剩余氣體中泵液污染物檢測不到。估計泵液返流率<7×10 -12g/min.cm/。剩余氣體主要組分是H2(約占78.3%)，其次是C、CO和N2。C主要來自鎢燈絲。 ④泵液對容器的污染除泵正常運轉(zhuǎn)外，主要是系統(tǒng)停止運轉(zhuǎn)期間原來冷凝于阱中的大量冷凝物的解吸，以及真空靜置期間油的蒸發(fā)爬移。在容器與阱間設(shè)有隔離閥的情況下，采用充氮保護運轉(zhuǎn)方法能有效地降低上述污染過程。 ?、菡婵战菔墙档捅砻娣艢獾暮啽惴椒ǎ瓤s短了抽氣時間，又提高了極限真空度。 值得提出的是：用油擴散泵抽氣系統(tǒng)完全能夠獲得既清潔、油污染又小的真空環(huán)境。 它有賴于合理的系統(tǒng)結(jié)構(gòu)和正確的運轉(zhuǎn)程序兩個方面。 本文由愛加真空收集整理，我公司專業(yè)維修各種進口真空鍍膜設(shè)備，歡迎來電咨詢洽談! 相關(guān)閱讀 |
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