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鍍膜設(shè)備真空獲得
發(fā)布時(shí)間:2014-03-01 瀏覽:5013 次

   鍍膜設(shè)備真空泵就是真空獲得設(shè)備是用來產(chǎn)生和維持真空的裝置。利用真空泵把一特定容器的氣體抽走,使該容器中的壓強(qiáng)低于一個(gè)大氣壓,這就是真空獲得。

 

  目前鍍膜設(shè)備真空獲得所涉及的壓強(qiáng)范圍已有十幾個(gè)數(shù)量極。由于稀薄氣體分子在不同壓強(qiáng)范圍內(nèi)氣體分子運(yùn)動(dòng)特性不同,所以較寬量程壓力范圍內(nèi)不可能用一種真空泵來獲得。

 

   由于不同類型鍍膜設(shè)備真空泵的工作原理不同,而各有其特點(diǎn)和工作范圍。比如有些泵可直接從大氣開始工作,有些泵則必須借助前級(jí)泵才能工作

 

下面列舉常用真空泵的應(yīng)用特點(diǎn):

(1)鍍膜設(shè)備旋片真空泵:又稱機(jī)械真空泵屬于低真空泵類。它具有從大氣直接排氣的特性,既可以單獨(dú)使用,也可作為高真空泵或超高真空泵的前級(jí)泵。

   旋片泵的工作原理:是基于變?nèi)葑饔?,用油來保持運(yùn)動(dòng)部件之間密封,靠機(jī)械的方法來密封的容積,容積周期性增大、縮小,從而達(dá)到排氣的目的。所以旋片泵極限真空度下降,噪聲大,卡死等現(xiàn)象,與油的質(zhì)量和機(jī)械轉(zhuǎn)動(dòng)、零件與零件配合間隙有關(guān)。

(2)鍍膜設(shè)備油擴(kuò)散泵:油擴(kuò)散泵是目前生產(chǎn)中最常用的高真空泵,被廣泛用于真空電子器件的排氣車、真空冶煉、真空熱處理、真空鍍膜與真空焊接等設(shè)備中。它的主要特點(diǎn)是在高真空下。對(duì)各種氣體都有很高的抽速,使用維護(hù)都很方便,無機(jī)械運(yùn)動(dòng),不易損壞,但不足之處不能單獨(dú)使用,必須有前級(jí)泵方可工作,測(cè)試前級(jí)壓力需達(dá)到1.33Pa。

   油擴(kuò)散泵是一種蒸氣流泵,其工作原理利用蒸流的作用來將低密度氣體壓縮為較高密度使其達(dá)到機(jī)械泵能夠作用氣體壓強(qiáng)范圍被抽走。由于油分子量是空氣分子量15~20倍,油分子能比空氣大一個(gè)數(shù)量級(jí),泵油在加熱情況形成每秒200m 定向運(yùn)動(dòng)的蒸氣流是油擴(kuò)散泵關(guān)鍵。

    由此看來,若要擴(kuò)散泵正常工作:
a.?dāng)U散泵在加熱時(shí)必須有足夠大的蒸氣壓,而在冷卻后要有足夠低的蒸氣壓。
b.一定要有前級(jí)泵才能工作,因只有油蒸氣流密度遠(yuǎn)大于空氣密度時(shí)才能形成高速氣流。
c.要有足夠的加熱功率,使油鍋內(nèi)油迅速蒸發(fā),通過噴嘴形成定向射流。
d.要有足夠的冷卻能力,使油蒸氣碰到泵壁時(shí)能很快地冷凝為液體返回油鍋,否則冷卻不夠產(chǎn)
生反擴(kuò)散,降低真空度。
(3)分子泵:渦輪分子泵是靠高速轉(zhuǎn)子攜代氣體分子獲得超高真空的一種機(jī)械式真空泵,工作壓
力范圍為10-1~10-8pa,它具有抽速較大,抽速范圍很寬的特點(diǎn),分子泵適用于要求清潔的高真空和超高真空的設(shè)備上使用,但它不能直接對(duì)大氣排氣,需要配置前級(jí)泵、由于分子泵屬于分子動(dòng)能泵在大氣壓下啟動(dòng)分子泵、分子密度過大、泵工作要發(fā)熱損壞。

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