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真空鍍膜設(shè)備真空測量 |
發(fā)布時間:2014-02-28 瀏覽:6973 次 |
真空測量是指用特定的儀器、對某一真空鍍膜設(shè)備空間內(nèi)真空度高低的量度。因此真空測量儀表好壞直接影響設(shè)備正常運行。真空計的種類很多,大體上可分絕對真空計和相對真空計兩大類。凡通過測定物理參數(shù)直接計出氣體壓強(qiáng)的真空計稱為絕對真空計。通過測量與壓強(qiáng)有關(guān)物理量,并進(jìn)行計算得到壓強(qiáng)值的真空計稱為相對真空計。絕對真空計精度較高,一般作為標(biāo)準(zhǔn)用,在實際生產(chǎn)中,大都使用相對真空計。
相對真空計的校準(zhǔn),可用標(biāo)準(zhǔn)水銀真空計進(jìn)行對比校準(zhǔn)。在沒有水銀真空計的條件下,可進(jìn)行滿偏和零位校準(zhǔn)。滿偏校準(zhǔn)是指在大氣壓條件下,把真空計調(diào)至滿偏,零位校準(zhǔn)是指達(dá)到最高真空度進(jìn)行調(diào)試或用未開封的玻璃真空規(guī)管進(jìn)行校準(zhǔn)(標(biāo)準(zhǔn)為5.5×10-3Pa)。
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