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　　電阻真空計(又叫皮喇尼真空計)：

　　它主要由電熱絲、外殼和支架構(gòu)成，主要是根據(jù)在低壓下，氣體的熱傳導(dǎo)系數(shù)與壓強成正比的方式工作的。上面開口處與被測真空系統(tǒng)相連接，熱絲采用電阻溫度系數(shù)大的金屬絲做成，兩支支架引線與測量線路連接。當(dāng)壓強降低的時候，由于氣體熱傳導(dǎo)散失的熱量減小，因此當(dāng)熱絲加熱電流穩(wěn)定時候，則熱絲溫度就上升，熱絲的電阻就增大，用測量熱絲電阻值的大小來間接測量壓強。

　　磁控放電真空計：

　　工作原理：在放電開始時，由于空間游離電子向陽極運動時，在正交電磁場作用下，電子的軌跡不是直線而是螺旋線前進，又因為陽極是框形，故電子不一定第一次就碰上陽極，而是穿過陽極，然后受到對面陰極的拒斥，又復(fù)返回。這樣反復(fù)多次才可能打上陽極。由于電子路程大大加長，故碰撞及電離的分子數(shù)增加，使得在較低壓強(10-4帕以下)仍維持放電(也稱潘寧放電)。

　　目前比較多的型號有PKR251、GI-PARY

　　放電管真空計：

　　在玻璃管中封入兩個金屬電極，在其上加上數(shù)千伏的直流高電壓，在一定的壓強范圍內(nèi)(1*10-3～2*10托)內(nèi)就能引起自持放電，通過放電顏色來判定其真空度 。 目前為止此種真空計已經(jīng)很少使用，因為其誤差大，容易損壞，而且壽命不長。