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真空鍍膜設(shè)備中擴(kuò)散泵的特點(diǎn)?
發(fā)布時(shí)間:2020-09-21 瀏覽:4203 次

  擴(kuò)散泵是目前獲得高真空的最廣泛、最主要的工具之一,通常指油擴(kuò)散泵。擴(kuò)散泵是一種次級(jí)泵,它需要機(jī)械泵作為前級(jí)泵。

  工作原理

  擴(kuò)散泵中的油在加熱到沸騰溫度(約為200度)后產(chǎn)生大量的油蒸氣,油蒸氣經(jīng)導(dǎo)流管從各級(jí)噴嘴定向高速?lài)姵觥?/p>

由于擴(kuò)散泵進(jìn)氣口附近被抽氣體的分壓強(qiáng)高于蒸氣流中該氣體的分壓強(qiáng),被抽氣體的分子便不斷擴(kuò)散到高速定向蒸氣流中,隨著蒸氣流帶走。

氣體分子隨蒸氣流碰到泵壁又反射回來(lái),再受到蒸氣流碰撞而重新沿蒸氣流方向流向泵壁。

經(jīng)過(guò)幾次碰撞后,氣體分子被壓縮到低真空端,再由下幾級(jí)噴嘴噴出的蒸氣進(jìn)行多級(jí)壓縮,最后由前級(jí)泵抽走,而油蒸氣在冷卻的泵壁上被冷凝后又返回到下層重新被加熱,如此循環(huán)工作達(dá)到抽氣目的。

  高真空泵擴(kuò)散泵主要結(jié)構(gòu)有泵體、冷卻帽、噴嘴、蒸氣導(dǎo)流管、加熱器和冷卻器等。

  性能參數(shù)

  通常擴(kuò)散泵的性能是以極限真空、最大反壓強(qiáng)、抽氣速率以及設(shè)置冷阱或低溫?fù)醢宥ā?/p>

  1.極限真空

  如果對(duì)一般油擴(kuò)散泵的結(jié)構(gòu)進(jìn)行改進(jìn),如減少油蒸氣的返流,加分鎦裝置,合理分配加熱功率,改進(jìn)噴嘴角度設(shè)計(jì),加以擋油帽、障板或冷阱、吸附阱等,就能使擴(kuò)散泵性能大大改善,極限真空可達(dá)到更低的壓強(qiáng)。油擴(kuò)散泵工作壓力范圍是10^-1~10^-6Pa,起始?jí)毫φ檬菣C(jī)械泵的極限壓力,因此,油擴(kuò)散泵通常要利用機(jī)械泵作為前級(jí)泵,將真空度抽到10^-1Pa后才能開(kāi)始工作。

  2.最大反壓強(qiáng)

  最大反壓強(qiáng)是指擴(kuò)散泵所允許的前置壓強(qiáng)最大值。如果前級(jí)泵所產(chǎn)生的壓強(qiáng)高于最大反壓強(qiáng),則擴(kuò)散泵就不能正常工作。

  3.抽氣速率

  擴(kuò)散泵的抽速可根據(jù)氣體分子運(yùn)動(dòng)理論來(lái)推算出來(lái)。

  4.設(shè)置冷阱及低溫?fù)醢宓脑?/p>

  由于擴(kuò)散泵噴嘴噴出來(lái)的油蒸氣分子,大部分由泵壁冷凝,這是因?yàn)楸帽谕庠O(shè)置冷卻水套或冷卻管道的緣故。但是有少部分蒸氣分子被泵壁反射,散射會(huì)返回被抽空間,這種現(xiàn)象在低溫實(shí)驗(yàn)室中要特別注意。

如在擴(kuò)散泵和被抽容器之前加上冷阱或低溫?fù)醢?,這樣就能使返加的蒸氣被冷凝下來(lái),截止了油蒸氣的返流。

  影響油擴(kuò)散泵性能的因素如下:

  1、油擴(kuò)散泵的返流。

  2、氣體分子的反擴(kuò)散。

  4、泵清洗不干凈,污染物質(zhì)留在泵內(nèi)并重復(fù)循環(huán),影響其真空度。

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