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真空鍍膜機(jī)各部件的作用是什么?
發(fā)布時(shí)間:2019-08-06 瀏覽:4384 次

  真空鍍膜機(jī)是目前制作真空條件應(yīng)用最為廣泛的真空設(shè)備,一般用真空室、真空機(jī)組、電氣控制柜三大部分組成,排氣系統(tǒng)采用“擴(kuò)散泵+機(jī)械泵+羅茨泵+低溫冷阱+polycold”組成。

  一、真空主體——真空腔根據(jù)加工產(chǎn)品要求的各異,真空腔的大小也不一樣,目前應(yīng)用最多的有直徑1.3M、0.9M、1.5M、1.8M等,腔體由不銹鋼" target=_blank>不銹鋼材料制作,要求不生銹、堅(jiān)實(shí)等,真空腔各部分有連接閥,用來(lái)連接各抽氣泵浦。

  二、輔助抽氣系統(tǒng):排氣系統(tǒng)為鍍膜機(jī)真空系統(tǒng)的重要部分,主要有由機(jī)械泵、增壓泵(主要介紹羅茨泵)、油擴(kuò)散泵三大部分組成。此排氣系統(tǒng)采用“擴(kuò)散泵+機(jī)械泵+羅茨泵+低溫冷阱+polycold”組成。

  排氣流程為:機(jī)械泵先將真空腔抽至小于2.0*10-2PA左右的低真空狀態(tài),為擴(kuò)散泵后繼抽真空提供前提,之后當(dāng)擴(kuò)散泵抽真空腔的時(shí)候,機(jī)械泵又配合油擴(kuò)散泵組成串聯(lián),以這樣的方式完成抽氣動(dòng)作。

  機(jī)械泵:也叫前級(jí)泵,機(jī)械泵是應(yīng)用最廣泛的一種低真空泵,它是用油來(lái)保持密封效果并依靠機(jī)械的方法不斷的改變泵內(nèi)吸氣空腔的體積,使被抽容器內(nèi)氣體的體積不斷膨脹從而獲得真空。

  1.機(jī)械泵的分類:機(jī)械泵有很多種,常用的有滑閥式(此主要應(yīng)用于大型設(shè)備)、活塞往復(fù)式、定片式和旋片式(此目前應(yīng)用最廣泛,本文主要介紹)四種類型。

  2.機(jī)械泵是從大氣開(kāi)始工作的,它的主要參數(shù)有極限真空,抽氣速率,此為設(shè)計(jì)與選用機(jī)械泵的重要依據(jù)。單級(jí)泵可以將容器從大氣抽到1.0*10-1PA的極限真空,雙級(jí)機(jī)械泵可以將容器從大氣抽到6.7*10-2帕,甚至更高。

  抽氣速率,是指旋片泵按額定轉(zhuǎn)數(shù)運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí),單位時(shí)間內(nèi)所能排出氣體的體積,可以用下公式計(jì)算:Sth=2nVs=2nfsL fs表示吸氣結(jié)束時(shí)空腔截面積,L表示空腔長(zhǎng)度,系數(shù)表示轉(zhuǎn)子每旋轉(zhuǎn)一周有兩次排氣過(guò)程,Vs表示當(dāng)轉(zhuǎn)子處于水平位置的時(shí)候,吸氣結(jié)束,此時(shí)空腔內(nèi)的體積最大,轉(zhuǎn)速為n。

  機(jī)械泵排氣的效果還與電機(jī)的轉(zhuǎn)速及皮帶的松緊度有關(guān)系,當(dāng)電機(jī)的皮帶比較松,電機(jī)轉(zhuǎn)速很慢的時(shí)候,機(jī)械泵的排氣效果也會(huì)變差,所以要經(jīng)常保養(yǎng),點(diǎn)檢,機(jī)械泵油的密封效果也需要常常點(diǎn)檢,油過(guò)少,達(dá)不到密封效果,泵內(nèi)會(huì)漏氣,油過(guò)多,把吸氣孔堵塞,無(wú)法吸氣和排氣,一般,在油位在線下0.5厘米即可。

  3.機(jī)械泵常常被用來(lái)抽除干燥的空氣,但不能抽除含氧量過(guò)高、有爆炸性和腐蝕性的氣體,機(jī)械泵一般被用來(lái)抽除永久性的氣體,但是對(duì)水氣沒(méi)有好的效果,所以它不能抽除水氣。

  旋片泵中起主要作用的部件是定子、轉(zhuǎn)子、彈片等,轉(zhuǎn)子在定子里面但與定子不同心軸,象兩個(gè)內(nèi)切圓,轉(zhuǎn)子槽內(nèi)裝有兩片彈片,兩彈片中間裝有彈簧,保證了彈片緊緊貼在定子的內(nèi)壁。

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