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多功能真空校準(zhǔn)裝置解析?
發(fā)布時間:2018-03-12 瀏覽:3871 次

  為滿足航天器熱試驗常用真空計及標(biāo)準(zhǔn)漏孔的校準(zhǔn)需要,研制了多功能真空校準(zhǔn)裝置。

  該裝置可用于進行熱偶真空計、壓阻規(guī)、電容薄膜真空規(guī)、潘寧規(guī)、熱陰極電離規(guī)等真空測量傳感器的校準(zhǔn),同時也可以用于滲透型真空漏孔的校準(zhǔn)。裝置選用靜態(tài)比對法、動態(tài)比對法、質(zhì)譜比對法設(shè)計建成,真空校準(zhǔn)范圍為1.33×105 Pa~1×10-4 Pa,真空漏孔校準(zhǔn)范圍為5×10-5~5×10-9 Pa·m3/s,裝置智能化水平高,操作簡便,適合真空規(guī)管的批量校準(zhǔn)。

  隨著我國空間科學(xué)技術(shù)的發(fā)展,真空測量技術(shù)也得到長足進步,已廣泛應(yīng)用在航空航天、電氣電子、石油化工等行業(yè)。特別是我國載人飛船、登月工程、火星探測等一系列國防新領(lǐng)域的飛速發(fā)展,對真空測量提出了更高的要求,相應(yīng)的高精度、高可靠性的真空計量校準(zhǔn)需求也應(yīng)運而生。

  傳統(tǒng)的實驗室真空校準(zhǔn)裝置大多系統(tǒng)設(shè)計復(fù)雜,研制費用高,校準(zhǔn)耗時長,無法滿足航天器研制任務(wù)的需要。

  本文研制了一套多功能真空校準(zhǔn)裝置,該裝置選用靜態(tài)比對法、動態(tài)比對法以及質(zhì)譜比對法的校準(zhǔn)原理研制而成,通過設(shè)計不同量程的電容薄膜規(guī)組成標(biāo)準(zhǔn)規(guī)組的方法,解決了單一標(biāo)準(zhǔn)規(guī)在滿量程范圍內(nèi)精度偏差的問題。

  裝置具有操作簡易,自動化程度高,可批量校準(zhǔn)等特點,裝置校準(zhǔn)范圍既覆蓋了航天領(lǐng)域主要真空校準(zhǔn)需求,又具有研制成本低,綜合性價比高的優(yōu)點。

  本文由真空鍍膜機廠家愛加真空收集整理,僅供學(xué)習(xí)!