與一般離子鍍技術(shù)相比,多弧離子鍍具有很多優(yōu)勢,如高的離化率,沉積速率快,且可通過在基體施加偏壓進(jìn)一步提高沉積離子能量,從而達(dá)到膜/基結(jié)合強(qiáng)度等優(yōu)點,這使得多弧離子鍍工藝在沉積TiN類硬質(zhì)結(jié)構(gòu)薄膜方面發(fā)揮了重要作用。
利用多弧離子鍍技術(shù)可以制備金黃色的TiN膜,黑色的TiC膜,棕色的TiAIN膜和綠色的ZrO膜等。獲得的膜層具有附著力強(qiáng)、不易脫落、繞射性好、厚度均勻、鍍層致密、孔隙率低等特點。
同時,可鍍材質(zhì)廣,在金屬和非金屬面上均可鍍制金屬或金屬反應(yīng)膜,節(jié)約貴重金屬材料、無污染。
作為一種較為理想的裝飾涂層制備方法,多弧離子鍍裝飾涂層從鍍表殼、表帶發(fā)展到鍍瓷磚、衛(wèi)生潔具、樓梯扶手、大廳圓柱及汽車車身、配電柜體等。已經(jīng)廣泛應(yīng)用于人們的日常生活和工業(yè)產(chǎn)品裝飾的許多領(lǐng)域。
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