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DLC涂層技術(shù)講解? |
發(fā)布時(shí)間:2014-12-26 瀏覽:5316 次 |
DLC涂層是一種由碳元素構(gòu)成、在性質(zhì)上和鉆石類似,同時(shí)又具有石墨原子組成結(jié)構(gòu)的物質(zhì)。 常見的制備DLC 薄膜的方法有真空蒸發(fā) 、濺射、等離子體輔助化學(xué)氣相沉積、離子注入等。 碳素的天然結(jié)構(gòu)有兩種,空間立體結(jié)構(gòu)(金剛石)和平面網(wǎng)狀結(jié)構(gòu)(石墨),而兩者共存的結(jié)構(gòu)就是DLC,其實(shí)DLC涂層的定義是具有非晶質(zhì)(amorphous)結(jié)構(gòu)的碳素。 所以DLC的定義非常廣泛,只要含有碳元素,而且是非晶質(zhì)結(jié)構(gòu)(沒有固定的結(jié)構(gòu)形態(tài)),那么它就是DLC,不管里面還摻雜有其它元素什么的,統(tǒng)統(tǒng)都叫DLC。
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