首先檢查真空容器所處狀態(tài),處于真空下或者處于大氣中。決定了兩種啟動(dòng)真空設(shè)備的程序:第一種,真空下操作程序。第二種,大氣狀態(tài)下操作程序。
1、如果容器處于低真空狀態(tài)下,不能立即打開閘板閥以免引起真空油的回流。
正確的操作步驟是先打開水龍頭,然后打開機(jī)械泵,同時(shí)打開真空計(jì)電源,觀察真空計(jì)讀數(shù)到達(dá)30Pa左右時(shí),再打開分子泵,看到分子泵的工作頻率達(dá)到50Hz左右時(shí)方可打開閘板閥。
2、如果容器處于大氣下,首先要做的是檢查大漏,即關(guān)閉容器大門和放氣閥。然后打開水龍頭,閘板閥,機(jī)械泵,真空計(jì)電源,觀察真空計(jì)讀數(shù)到達(dá)30Pa左右時(shí),再打開分子泵。
3、等到分子泵正常工作后(工作頻率穩(wěn)定在450Hz),按下真空計(jì)中電離計(jì)單元的啟動(dòng)鍵對真空度進(jìn)行觀測。
4、在真空達(dá)到 Pa時(shí)可以打開離子泵,此時(shí)先關(guān)閉分子泵處的閘板閥,但不要關(guān)閉分子泵,等到離子泵的電壓達(dá)到4000V時(shí)(離子泵穩(wěn)定工作后)再關(guān)掉分子泵,機(jī)械泵。
5、如果不需要維持真空時(shí),先關(guān)掉真空計(jì)電源,后只需要把離子泵的閘板閥關(guān)閉即可,不關(guān)閉離子泵,而是讓離子泵處于工作狀態(tài)保持其內(nèi)部環(huán)境。
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