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低溫冷凝泵的作用?
發(fā)布時(shí)間:2014-11-03 瀏覽:5433 次

  低溫冷凝泵:它是利用低溫表面來(lái)凝聚氣體分子以實(shí)現(xiàn)抽氣的一種泵,是真空鍍膜設(shè)備目前獲得極限真空最高,抽速最大的抽氣泵。

  冷凝泵的工作原理:主要是低溫表面對(duì)氣體的冷凝作用、冷捕作用及物理低溫吸附作用。

  低溫冷凝:根據(jù)各種氣體的特性,采用液氦或者制冷循環(huán)氦氣來(lái)冷卻。

  冷捕集:就是不可凝氣體被可凝氣體捕集的現(xiàn)象,通常二氧化碳、水蒸氣、氮?dú)?、壓氣等氣體首先形成霜。

  與低溫表面形成吸附層,進(jìn)而達(dá)到吸附其它氣體的目的,低溫泵抽除混合氣體的效果比抽除單一效果好就是這個(gè)原因。

  低溫吸附:指低溫表面上的吸附劑吸附氣體的作用,由于吸附劑與氣體分子之間的相互作用很強(qiáng),故可達(dá)到氣相壓強(qiáng)比冷凝表面溫度下它的飽和蒸汽壓還低的水平。

  吸附劑通常是活性炭。冷凝泵的抽氣速率及影響,冷凝泵的抽氣速率與冷凝表面的面積大小有關(guān)系,經(jīng)數(shù)據(jù)顯示,單位冷凝表面的幾何形狀及位置、活性炭的顆粒結(jié)構(gòu)、粘結(jié)材料及粘結(jié)工藝,對(duì)抽速也有很大的影響。

  其次關(guān)鍵在于制冷機(jī)的制冷量要足夠大。

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