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氮化鈦涂層是自PVD技術(shù)發(fā)明以來,最常見的一種涂層,具有較高的性價(jià)比,也是之前運(yùn)用的最廣泛的一種PVD涂層,它具有較高的薄膜硬度。
用磁控濺射方法沉積的氮化鈦沉積速度慢,表面顆粒小所以表面光滑,而且液滴等表面缺限少,但是表面硬度較低。
用磁控陰極弧的方法沉積的氮化鈦,沉積速度快,但表面顆粒大,所以表面光潔度較差,液滴等表面缺陷也較多,但是可以獲得較高的表面硬度。
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