電容式隔膜真空計是利用隔膜在氣體分子作用下發(fā)生變形而測量壓強的真空計,其基本原理如圖1所示。
電容式隔膜真空計內(nèi)部有兩個空間,隔膜右側(cè)連接真空,左側(cè)的參照空間可以保持在大氣壓或其他一定的真空度。
如果p2
圖1 電容式隔膜真空計的原理圖
p1 和p2之間的壓強差很小時,隔膜的變形也很小,要精確地測量真空度,需要隔膜更薄??墒牵绻麅蓚?cè)壓強差很大,則隔膜可能發(fā)生永久變形甚至破損。
一般情況下,為了防止隔膜過度變形,在電極和隔膜之間施加直流電壓,通過靜電引力使隔膜不發(fā)生變形。
通過測量直流電壓值,即可知壓強,這種真空計被稱為單電容隔膜真空計。
在隔膜兩側(cè)分別設(shè)置電極而實現(xiàn)的差動式雙電容隔膜真空計,進一步提高了測量精度和范圍。
隔膜材料通常使用厚度為幾十微米的因科內(nèi)爾鉻鎳鐵合金(Inconel)。
為避免腐蝕氣體的腐蝕,也有使用陶瓷隔膜的產(chǎn)品。
電容式隔膜真空計測量的真空度與氣體成分無關(guān),反應(yīng)快、重復(fù)性高,非常適合于氧氣及油蒸氣等特殊環(huán)境的真空測量。
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