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真空鍍膜機磁控濺射和電阻蒸發(fā)區(qū)別 |
發(fā)布時間:2014-10-18 瀏覽:5639 次 |
濺射鍍膜就是利用電子或高能激光轟擊靶材,并使表面組分以原子團或離子形式被濺射出來,并且最終沉積在基片表面,經(jīng)歷成膜過程,最終形成薄膜。 濺射鍍膜又分為很多種,與蒸發(fā)鍍膜的不同點在于濺射速率將成為主要參數(shù)之一。 濺射鍍膜中的激光濺射鍍膜pld,組分均勻性容易保持,而原子尺度的厚度均勻性相對較差(因為是脈沖濺射),晶向(外沿)生長的控制也比較一般。 電阻蒸發(fā)鍍膜是加熱靶材使表面組分以原子團或離子形式被蒸發(fā)出來,并且沉降在基片表面,通過成膜過程(散點-島狀結(jié)構(gòu)-迷走結(jié)構(gòu)-層狀生長)形成薄膜。 電阻蒸發(fā)鍍膜組分均勻性不是很容易保證,具體可以調(diào)控的因素同上,但是由于原理所限,對于非單一組分鍍膜,蒸發(fā)鍍膜的組分均勻性不好。 推薦閱讀 |