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分子泵葉片破碎的原因?
發(fā)布時間:2014-09-10 瀏覽:6817 次

    造成分子泵轉(zhuǎn)子、靜子打碎的原因比較多,歸納起來主要是以下幾點:

  1、誤操作;比如突然的破真空,因為轉(zhuǎn)子與靜子葉片之間的空隙非常的小,如果葉片的材質(zhì)比較薄或者比較軟,突然的空氣阻力會造成葉片變形,這樣可能會造成轉(zhuǎn)子靜子之間的摩擦,導(dǎo)致打碎。

  2、是異物掉入;沒有安裝過濾網(wǎng)使肯定不行的,另外掉進去的東西不一定要多大,但如果硬度夠了一樣會造成傷害,輕則造成葉片邊緣被打成鋸齒狀,重則打碎葉片。所以現(xiàn)在的設(shè)備商在安裝分子泵的時候會盡量改為側(cè)面90度或倒立安裝,避免異物掉入。

  3、電壓的不穩(wěn)定,特別對磁浮類的分子泵損傷較大。

  4、前級泵的效率差;我們知道腔體內(nèi)的大部分氣體首先是通過前級泵抽出,真空達(dá)到一定程度分子泵才會啟動。如果前級泵的效率差,分子泵就會比較吃力,啟動速度慢,抽氣時間長,電流高,分子泵溫度升高等。

  5、分子泵保養(yǎng)時的動平衡沒有做好,這是技術(shù)的關(guān)鍵,動平衡差,振動就大,抽氣效率就差,也容易造成軸承部分的過度磨損。

  6、軸承部分沒有使用原廠的標(biāo)準(zhǔn)軸承,效果和尺寸不標(biāo)準(zhǔn)等。

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