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| 真空系統(tǒng)中殘余氣體如何處理？ |
| 發(fā)布時(shí)間：2014-08-24 瀏覽：5536 次 |
從高真空及超高真空的角度來看，真空系統(tǒng)內(nèi)的殘余氣體是一個(gè)必須引起注意的問題，殘余氣體往往造成真空系統(tǒng)內(nèi)部的表面污染，從而達(dá)不到真空工藝所要求的結(jié)果 另外，對(duì)超高真空系統(tǒng)來說，殘余氣體的成分對(duì)系統(tǒng)的極限壓力往往產(chǎn)生重要影響，如果抽氣系統(tǒng)或抽氣的工藝文匯選擇不當(dāng)，殘余氣體是影響其工作性能及壽命的重要因素。在實(shí)際工作中，不但要降低電真空器件中殘余氣體的量(真空度)，更要注意控制殘余氣體的質(zhì)(氣體成分)。 因?yàn)殡娬婵掌骷袣堄嗟腛2、CO2、CO、H2O及碳?xì)浠衔锏扔泻怏w，會(huì)引起電真空器件的陰極“中毒”、高壓放電擊穿等有害現(xiàn)象。 殘余氣體Ar可能會(huì)使電真空器件內(nèi)產(chǎn)生離子轟擊現(xiàn)象，從而損壞器件的陰極或其他部件。 殘余氣體的量多還會(huì)引起電子管的噪聲增高。 真空系統(tǒng)中的殘余氣體成分是與真空系統(tǒng)的作業(yè)各類及工藝(如鍍膜、金屬熔煉等)和所用的抽氣系統(tǒng)的類型有關(guān)，大致可分為以下幾種情況： 在低真空下使用的真空裝置中，殘余氣體主要為空氣(O2 N2……); 在只用油封機(jī)械泵連續(xù)進(jìn)行長(zhǎng)時(shí)間抽氣的真空裝置中，當(dāng)無泄漏時(shí)，殘余氣體中有：有機(jī)物及水蒸氣 在用油擴(kuò)散泵抽氣的高真空裝置中，殘余氣體中主要有：有機(jī)物和水蒸氣。 使用濺射離子泵抽氣系統(tǒng)，但不對(duì)真空系統(tǒng)進(jìn)行特別的烘烤脫氣處理時(shí)，則殘余氣體中水蒸氣最多，另外還有H2，CH4，CO(或N2)、CO2等。 本文由愛加真空整理！ 相關(guān)閱讀 |
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