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真空鍍膜設(shè)備中擋板閥的工作原理 |
發(fā)布時(shí)間:2014-08-07 瀏覽:5148 次 |
真空鍍膜設(shè)備中真空擋板閥原理、使用范圍:真空擋板閥的工作原理是閥板通過閥桿作上下運(yùn) 磁動(dòng)而實(shí)現(xiàn)密封的。 驅(qū)使閥桿運(yùn)動(dòng)的傳動(dòng)部件有手動(dòng)、手電兩動(dòng)、氣動(dòng)等三種方式。 手動(dòng)傳動(dòng)部件,以螺紋結(jié)構(gòu)為主,也可以采用平凸輪結(jié)構(gòu)。 手動(dòng)兩用的傳動(dòng)部件,由電執(zhí)、蝸輪、蝸桿組成的,并裝有行程開關(guān)。 當(dāng)接通電源后,電機(jī)按某一方向(如開啟方向)旋轉(zhuǎn),通過蝸輪、蝸桿將閥桿帶動(dòng)作向上運(yùn)動(dòng)使閥板上升,當(dāng)閥板上升到一定高度時(shí),行程開關(guān)自動(dòng)切斷電源,閥桿運(yùn)動(dòng)立即停止,反之亦然。 手動(dòng)時(shí),松開手輪背帽,用手按一定方向轉(zhuǎn)動(dòng)手輪即可,氣動(dòng)傳動(dòng)部件以壓縮千操空氣為動(dòng)力,通過電磁換向閥改變氣路方向,推動(dòng)汽缸活塞上下運(yùn)動(dòng),帶動(dòng)閥桿上下運(yùn)動(dòng),使閥板開啟關(guān)閉,從而達(dá)到接通或停止氣流的目的。 真空擋板閥有高真空擋板閥和超高真空擋板閥兩種。高真空擋板閥用于高真空系統(tǒng)接通或截止氣流。 適用壓力范圍:軸封為橡膠時(shí),為105~1.3×10-4Pa;軸封為波紋管結(jié)構(gòu)時(shí)為105~1.3×10-5Pa。 工作介質(zhì)溫度:-25~80℃ (密封件為丁腈橡膠);-30~150℃(密封件為氟橡膠)。 閥體材料:碳鋼鍍鎳或不銹鋼;閥板密封材料T-腈橡膠或氟橡膠。超高真空擋板閥用于超高真空系統(tǒng)接通或截止氣流。 適用壓力范圍為105~1.3×10-8Pa等閥門開啟狀態(tài),烘烤溫度小于400℃,閥體材料為不銹鋼;閥板材料為無氧銅;軸封處密封件材料為不銹鋼波紋管。 這兩種真空擋板閥使用的工作介質(zhì)為潔凈的空氣或?qū)﹂y門無腐蝕的干凈氣體。 不適用在對(duì)金屬有強(qiáng)腐蝕牲和含有顆粒狀態(tài)灰塵的氣體情況下長(zhǎng)期使用。 高真空擋板閥由于具有密封可靠、流導(dǎo)大、安全性好以及可手控、電控、氣控等特點(diǎn),形式多樣,規(guī)格齊全,通徑為150~120mm,結(jié)構(gòu)合理等. 因此,被廣泛用于大、中型多種高真空裝置的真空系統(tǒng)之中,如用于真空鍍膜設(shè)備,真空熱處理爐、真空釬焊,高真空電子束焊機(jī)、離子束刻蝕設(shè)備、空間環(huán)模設(shè)備等。 相關(guān)閱讀 |