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塑料真空鍍膜設(shè)備的技術(shù)應(yīng)用?
發(fā)布時間:2014-07-09 瀏覽:3918 次

  塑料真空鍍膜設(shè)備的發(fā)展相當快,隨著生產(chǎn)率的提高,生產(chǎn)費用大大降低,已經(jīng)為真空鍍膜產(chǎn)品的普遍使用鋪平了道路。

  以卷繞式真空鍍膜機為例,剛開發(fā)時可鍍的薄膜基材寬度是150mm,目前已達2253mm。基材卷筒的最大卷徑是1000mm,最大卷繞速度750m/min。

  自動裝卸的半連續(xù)卷繞式真空鍍膜機鍍膜時間占整個周期的75%,輔助操作時間只占25%。

  效率更高的從大氣到大氣的卷繞式真空鍍膜機已于1977年出售。

  隨著計測技術(shù)、控制技術(shù)的進步和電子計算機的應(yīng)用,卷繞式真空鍍膜機正向著高度自動化和高度可靠性的方向發(fā)展。

  卷繞式真空鍍膜機能夠沉積的鍍膜層厚度范圍為0.01-0.2μm,可以在這個范圍內(nèi)選擇,有的還可以鍍多層膜,滿足多種需要。日本專利提出沉積兩種不同鍍膜材料的卷繞式蒸鍍裝置。

  該裝置的真空室分為上室,左下室和右下室。蒸鍍時,兩組蒸發(fā)源蒸發(fā)的鍍膜材料分別沉積在塑料薄膜上,在塑料薄膜沒有蒸鍍的一側(cè),裝上輝光放電發(fā)生器。

  發(fā)生器產(chǎn)生的輝光放電氣體能防止塑料薄膜起皺。使用這套裝置可以在極薄的塑料薄膜上鍍上無折皺的多層膜,用于制磁帶和薄膜太陽能電池等。該裝置示意圖見圖1

  近年來,高速低溫濺射法發(fā)展很快,使高熔點金屬如鉻、鈦、鎢、鉬等的沉積成膜成為可能。

  鍍膜室直徑1400mm,高2200mm的大型鐘罩式濺射鍍膜機和長13mm,寬7.6mm的大型串列式濺射鍍膜機已投入使用。

  最近,日本專利提出一種卷繞式濺射鍍膜機,該機可鍍兩種不向的鍍膜材料,并在第一濺射區(qū)和第二濺射區(qū)之間裝溫度控制裝置,加強對基材的冷卻,保證在鍍膜層較厚和沉積速度較快的情況下,基材不會發(fā)生卷縮和變形。

  真空室裝有濺射靶和陽極,兩個靶分別與直流電源(5a,5b)相接,對塑料薄膜(8)進行濺射。輥筒有各自的冷卻溫度。

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