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真空鍍膜設(shè)備系統(tǒng)的安裝和使用 |
發(fā)布時(shí)間:2014-03-25 瀏覽:4847 次 |
真空鍍膜設(shè)備系統(tǒng)的安裝和使用
1 講究真空衛(wèi)生
裝時(shí)應(yīng)采用抽氣和找漏相結(jié)合的方法 現(xiàn)以擴(kuò)散泵機(jī)械泵系統(tǒng)為例,加以說明。首先裝好機(jī)械泵,抽氣后達(dá)到要求的真空度再裝擴(kuò)散泵并抽空檢查,符合擴(kuò)散泵真空度的要求后才安裝被抽容器。決不能把很多真空元件不經(jīng)檢查,一次安裝完畢。否則,一旦發(fā)生漏氣,找漏孔就會(huì)十分困難。假如系統(tǒng)安裝后仍產(chǎn)生漏氣,則要采用分段檢漏方法按圖1所示,將檢漏儀器5安裝在靠近機(jī)械泵6的位置上,在閥門2.4關(guān)閉的情況下,檢漏儀器5可檢查低真空系統(tǒng)的漏氣情況。假如這部分不漏氣或已把漏孔堵死,則可打開閥門4檢查擴(kuò)散泵部分有沒有漏氣,最后打開閥門2檢查被抽容器有沒有漏氣。這種方法比較簡(jiǎn)單易行而且節(jié)省時(shí)間。
真空鍍膜設(shè)備系統(tǒng)分段檢漏示意圖
3 橡皮封口和金屬零件表面不得有傷痕,安裝時(shí)避免劃傷。
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