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真空鍍膜機各部分的組成及工作原理 |
發(fā)布時間:2014-01-17 瀏覽:12235 次 |
高真空鍍膜機,鍍膜機是目前制作真空條件應(yīng)用最為廣泛的設(shè)備。其相關(guān)組成及各部件:機械泵、增壓泵、油擴散泵、冷凝泵、真空測量系統(tǒng).
一、真空主體——真空腔 根據(jù)加工產(chǎn)品要求的各異,真空腔的大小也不一樣,目前應(yīng)用最多的有直徑1.3M、0.9M、1.5M、1.8M等,腔體由不銹鋼材料制作,要求不生銹、堅實等,真空腔各部分有連接閥,用來連接各抽氣泵浦。
二、輔助抽氣系統(tǒng) 此排氣系統(tǒng)采用“擴散泵+機械泵+羅茨泵+低溫冷阱+polycold”組成 排氣流程為:機械泵先將真空腔抽至小于2.0*10-2PA左右的低真空狀態(tài),為擴散泵后繼抽真空提供前提,之后當(dāng)擴散泵抽真空腔的時候,機械泵又配合油擴散泵組成串聯(lián),以這樣的方式完成抽氣動作。
排氣系統(tǒng)為鍍膜機真空系統(tǒng)的重要部分,主要有由機械泵、增壓泵(主要介紹羅茨泵)、油擴散泵三大部分組成。
機械泵:也叫前級泵,機械泵是應(yīng)用最廣泛的一種低真空泵,它是用油來保持密封效果并依靠機械的方法不斷的改變泵內(nèi)吸氣空腔的體積,使被抽容器內(nèi)氣體的體積不斷膨脹從而獲得真空。
機械泵有很多種,常用的有滑閥式(此主要應(yīng)用于大型設(shè)備)、活塞往復(fù)式、定片式和旋片式(此目前應(yīng)用最廣泛,本文主要介紹)四種類型。 機械泵常常被用來抽除干燥的空氣,但不能抽除含氧量過高、有爆炸性和腐蝕性的氣體,機械泵一般被用來抽除永久性的氣體,但是對水汽沒有好的效果,所以它不能抽除水汽。旋片泵中起主要作用的部件是定子、轉(zhuǎn)子、彈片等,轉(zhuǎn)子在定子里面但與定子不同心軸,象兩個內(nèi)切圓,轉(zhuǎn)子槽內(nèi)裝有兩片彈片,兩彈片中間裝有彈簧,保證了彈片緊緊貼在定子的內(nèi)壁。
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