真空鍍膜機(jī)鍍膜的過(guò)程中，無(wú)時(shí)無(wú)刻都離不開粒子的運(yùn)動(dòng)，在這里的粒子包括電子、原子、分子、離子，當(dāng)它們發(fā)生碰撞時(shí)的會(huì)發(fā)生各種各樣的互相作用，對(duì)于氣體粒子常常發(fā)生的是電離和激發(fā)。
譬如濺射真空鍍膜機(jī)中，是通過(guò)電子與氬氣分子相互碰撞產(chǎn)生氬離子。在電子碰撞氬氣之前處于高速運(yùn)動(dòng)的狀態(tài)，氬氣分子是單原子結(jié)構(gòu)，電子與原子發(fā)生非彈性碰撞，電子所帶的動(dòng)能傳遞到原子上，根據(jù)能量守恒定律，電子動(dòng)能減少，原子內(nèi)能增加，原子上的電子獲得能量后從低能級(jí)躍遷到高能級(jí)，激發(fā)原子，由原子基態(tài)變成激發(fā)狀態(tài)，不過(guò)這個(gè)時(shí)間非常短暫，可以說(shuō)是一瞬間的事情，大約就可以維持10-7左右的時(shí)間。如果原子上的電子得到的能量足夠大，可以擺脫原子核的束縛，成為自由電子，原子由電子、中子和質(zhì)子組成，電子是帶負(fù)電荷，中子不帶電，質(zhì)子帶正電荷，原子中的電子電荷數(shù)和質(zhì)子電荷數(shù)相等，所以原子都不帶電，但當(dāng)電子擺脫束縛成為自由電子離開原子，原子的質(zhì)子電荷數(shù)大于電子電荷數(shù)，使原子變成離子帶正電荷，靶材與電源陰極相接，帶正電荷的氬離子在電場(chǎng)的作用下，向陰極加速度運(yùn)動(dòng)。當(dāng)氬離子與靶材上的原子相碰撞，有部分離子的動(dòng)能轉(zhuǎn)移到原子上，原子被濺射出來(lái)，另外有部分離子與原子相撞后，原子上的電子轉(zhuǎn)移到氬離子上，使氬離子獲得所帶電荷數(shù)相等的負(fù)電子，還原為氬原子，金屬原子失去電子變成金屬正離子，并獲得部分動(dòng)能。
這就是濺射鍍膜中氬氣粒子的運(yùn)動(dòng)過(guò)程，由原子變成離子，再由離子變成原子，反反復(fù)復(fù)的過(guò)程。
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