|
| 標(biāo)準(zhǔn)刀具/刀具多功能涂層系統(tǒng) |
標(biāo)準(zhǔn)刀具/刀具涂層系統(tǒng)
野馬真空系統(tǒng)制造了一系列的專業(yè)，卓越的吞吐量和出色的重復(fù)性PVD刀具涂層系統(tǒng)可配備多個(gè)高利率，磁增強(qiáng)非平衡磁控濺射，的HIPIMS或操縱陰極電弧蒸發(fā)沉積的陰極安排和線性離子源基板蝕刻。
工藝參數(shù),進(jìn)行配方處理和設(shè)備控制由一個(gè)完全集成的，可靠的PLC / PC系統(tǒng)，帶觸摸屏和遠(yuǎn)程訪問能力。 標(biāo)準(zhǔn)系統(tǒng)包括多個(gè)質(zhì)量流量控制器，可配置系統(tǒng)，使控制存在的一系列預(yù)選功工作和惰性氣體，包括氮，各種烴類，氧/空氣和氬氣的沉積。 基板溫度通過輻射采暖選擇用熱電偶反饋控制通常范圍在200°C到最高600°C溫度敏感的鋼構(gòu)件以及允許沉積硬質(zhì)合金。 抽真空選項(xiàng)通常包括擴(kuò)散或渦輪分子系統(tǒng)與polycold單位增加抽空結(jié)合速度旋轉(zhuǎn)和羅茨鼓風(fēng)機(jī)。 3倍的行星旋轉(zhuǎn)轉(zhuǎn)盤助劑涂層的均勻性，而涂層結(jié)構(gòu)控制和致密化的使用已取得的使用直流或交流電壓為標(biāo)準(zhǔn)的偏置。
產(chǎn)業(yè)規(guī)模交鑰匙的配方可以向客戶提供以下標(biāo)準(zhǔn)單片結(jié)構(gòu)刀具涂層：
| |
氮化
|
TICN
|
氮化鋯
|
ZrCN
|
氮化鉻
|
TiAlN涂層
|
TiAlCN
|
AlTiN涂層
|
AlCrN
|
|
顏色
|
金
|
藍(lán)色/灰色
|
香檳酒
|
各種/銅
|
銀
|
深灰/紫
|
灰色
|
深藍(lán)色/黑色
|
灰色
|
|
硬度（HV）
|
2500-3000
|
2400-3200
|
2000-2700
|
2000-3000
|
1800-2800
|
2300-3000
|
2500-3200
|
2400-3100
|
2600-3100
|
|
厚度（μm）
|
1-4
|
1-3
|
1-4
|
1-3
|
1-5
|
1-4
|
1-3
|
1-4
|
1-4
|
|
最高使用溫度（℃）
|
500
|
400
|
500
|
400
|
700
|
800
|
700
|
850
|
900
|
|
摩擦系數(shù)（100CR6與）
|
0.5
|
0.3
|
0.5
|
0.35
|
0.5
|
0.55
|
0.4
|
0.55
|
0.5
|
|
|
|
  |
