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低溫泵維修

低溫泵抽氣原理

在低溫泵內(nèi)設(shè)有由液氦或制冷機(jī)冷卻到極低溫度的冷板。它使氣體凝結(jié),并保持凝結(jié)物的蒸汽壓力低于泵的極限壓力,從而達(dá)到抽氣作用。低溫抽氣的主要作用是低溫冷凝、低溫吸附和低溫捕集。


①低溫冷凝:氣體分子冷凝在冷板表面上或冷凝在已冷凝的氣體層上,其平衡壓力基本上等于冷凝物的蒸氣壓。抽空氣時(shí),冷板溫度必須低于 25K;抽氫時(shí),冷板溫度更低。低溫冷凝抽氣冷凝層厚度可達(dá)10毫米左右。


②低溫吸附:氣體分子以一個(gè)單分子層厚 (10-8厘米數(shù)量級(jí))被吸附到涂在冷板上的吸附劑表面上。吸附的平衡壓力比相同溫度下的蒸氣壓力低得多。如在 20K時(shí)氫的蒸氣壓力等于大氣壓力,用 20K的活性炭吸氫時(shí)吸附平衡壓力則低于10-8 帕。這樣就可能在較高溫度下通過(guò)低溫吸附來(lái)進(jìn)行抽氣。


③低溫捕集:在抽氣溫度下不能冷凝的氣體分子,被不斷增長(zhǎng)的可冷凝氣體層埋葬和吸附。


一般說(shuō)來(lái),泵的極限壓力就是冷板溫度下的被冷凝氣體的蒸氣壓力。溫度為120K時(shí),水的蒸氣壓已低于10-8帕。溫度為20K時(shí),除氦、氖和氫外,其他氣體的蒸氣壓也低于10-8帕。但由于被抽容器和低溫冷板的溫度不同,泵的極限壓力高于冷凝物的蒸氣壓。對(duì)于室溫下的容器,低溫板為20K時(shí),泵的極限壓力約為冷凝物蒸氣壓力的4倍。