|
| 分子泵維修 |
分子泵結(jié)構(gòu)特點(diǎn)
泵腔內(nèi)有可旋轉(zhuǎn)的轉(zhuǎn)子，轉(zhuǎn)子的四周帶有溝槽并用擋板隔開。每一個(gè)溝槽就相當(dāng)于一個(gè)單級分子泵，后一級的入口與前一級的出口相連。轉(zhuǎn)子與泵殼之間有 0.01mm 的間隙。氣體分子由入口進(jìn)入泵腔，被轉(zhuǎn)子攜帶到出口側(cè)，經(jīng)排氣管道由前級泵抽走。牽引分子泵的優(yōu)點(diǎn)是起動時(shí)間短，在分子流態(tài)下有很高的壓縮比，能抽除各種氣體和蒸汽，特別適于抽除較重的氣體。但同于它自身的弱點(diǎn)：抽速小，密封間隙太小，工作可靠性較差，易出機(jī)械故障等，因此除特殊需要外，實(shí)際上很少應(yīng)用。曾一度被結(jié)構(gòu)和制造簡單，抽速大的擴(kuò)散泵所代替。
就是在油擴(kuò)散泵開始得到廣泛應(yīng)用的時(shí)代，人們在牽引分子泵的結(jié)構(gòu)改進(jìn)方面仍然做了許多工作。如 Holweck 、 Siehbahn 、 Gondet 等先后對 Gaede 型分子泵做了許多改進(jìn)，提出了很多不同結(jié)構(gòu)的新型牽引分子泵。但由于其結(jié)構(gòu)仍較復(fù)雜，抽速低，因此未能得到廣泛應(yīng)用。
分子泵的原理
分子泵是利用高速旋轉(zhuǎn)的轉(zhuǎn)子把動量傳輸給氣體分子，使之獲得定向速度，從而被壓縮、被驅(qū)向排氣口后為前級抽走的一種真空泵牽引分子泵氣體分子與高速運(yùn)動的轉(zhuǎn)子相碰撞而獲得動量，被驅(qū)送到泵的出口。 |
|
|
  |
